超音波清洗機的結構一般有超聲電源和清洗器合為超音波清洗機一體或分開布局兩種形式，一般小功率(200W以下)清洗機用一體式結構，而大功率清洗機采用分體式結構。
超音波清洗機分體式結構由三個主要部分組成
(1)清洗缸；
(2)超音波發生器；
(3)超音波換能器。
清洗缸：清洗缸是清洗機用來裝載清洗液及被清洗工件的不鏽鋼容器，大多數工件可先裝在網狀框架內，再一起放人缸內清洗。
超音波發生器：超音波清洗機用的超音波發生器，從使用的元器件種類可以分電子管式的，可控硅式的和晶體管式的。近幾年來已經發展到用大功率“功率模塊”的方式。其輸出功率從幾十瓦直到幾千瓦，工作頻率從15kHz-40kHz。
超音波清洗機用的超音波發生器，有以下特點：
(1)隨著清洗液深度不同，換能器共振頻率和阻抗變化清洗設備很大。但是實踐表明，槽內放進適量清洗物後，基本上就可以穩定在某一定數值上。
(2)一般來說，由於清洗負載變動較小，可以不要求復雜的頻率自動跟蹤電路。
(3)實用超音波發生器，大多數采用大功率自激式反饋振蕩器。
超音波換能器：超音波清洗機用的換能器。
主要有以下幾種：
①磁致伸縮換能器國內用的磁致伸縮換能器大多數是用鎳片疊成的窗口型換能器，將它銀焊在清洗缸底部，然後用導線在窗口上繞一定卷數而成。此種換能器能承受較大功率，且可靠性好，使用壽命長。缺點為效率較壓電換能器低，原材料鎳片價格貴。真空清洗機
②壓電式換能器目前國內外大多數超音波清洗機用的是壓電式換能器。這種換能器一般有兩片壓電陶瓷晶片組成。一台清洗機用多個換能器，經粘接劑粘接在清洗缸底部且經並聯聯接組成一台清洗機的換能器。換能器基元之間距(對於頻率20kH4一般在5-10mm為佳，太大了容易產生彎曲振動，且振動板真空超音波清洗機受到腐蝕，同時輻射面相對減少。通用超聲清洗機清洗零件適用性強，已廣泛應用於電子、鐘表、光學、機械、汽車、航空、原子能工業、醫療器械等許多行業。
目前，還有一種超聲汽相清洗機，它是選用有機溶劑作清洗液，具有極強的溶解污垢的能力，用於清洗半導體晶片等淨治度要求特別高的物件。
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